熱膨脹儀主要分為光乾涉法膨脹儀和機械熱膨脹儀，光乾涉法為光學非接觸、**測量、測量準確度高。但造價昂貴、儀器結構及操作都很複雜。機械式法熱膨脹儀的優點是，使用容易、結構簡單適用各種形狀的樣品等。缺點是，機械式式熱膨脹儀受樣品架、檢測杆等夾雜物的影響，因此無法避免這些夾雜物對校準用標準樣品的**精度和誤差的影響。
Super LIX-R非接觸法激光熱膨脹係統概述
Super LIX-R非接觸法激光熱膨脹儀係統是采用線性偏轉氦氖激光器的雙光路型邁克爾遜乾涉儀的高靈敏度非接觸式熱膨脹儀。這種高精度膨脹儀是基於激光波長對與樣品兩端接觸的反射麵之間的位移進行**熱膨脹測量。
該測定方法符合JIS(JIS R3251-1995)的低膨脹玻璃的熱膨脹係數測定方法，適合於用於熱膨脹係數低至5ppb/℃（即 5 x 10-9/K）級彆零膨脹材料的測量，通過對實際樣品測試結果分析：在30℃時三次測得的 熱膨脹係數分彆為:5 x 10-9/K,4 x 10-9/K,4 x 10-9/K，在10℃，20℃，30℃，40℃，50℃的重複性均優於5 x 10-9/K。（詳見P36-41）
特點：
1）通過在係統內部加入抗振機構，可以防止振動乾擾的影響，可以在穩定使用的環境下進行一般分析電子天平（分辨率0.01mg）的測量。（**申請2016-058190、058191、058192）
2）根據激光波長（632.8nm）測量樣品的位移。光學元件的優化消除了雜散光，提高了邊緣信號的信噪比。特殊位移校準無需測量或操作。
3）圖像傳感器檢測乾涉條紋，對圖像進行處理，計算膨脹率。
4) 通過用絕緣結構的低溫恒溫器控製樣品和樣品周圍區域的溫度，可以將溫度控製在每分鐘 0.01°C。
5) 自動樣品設置夾具可實現穩定的樣品設置，無需操作員經過特殊培訓。
夾具的樣品設置是手動的。
Super LIX-R 參數：
溫度測量範圍：0~50℃ （采用高精度恒溫循環係統）
熱膨脹檢測係統：邁克爾遜型激光乾涉儀
光路：雙光路
樣品尺寸：Φ5mm 或Φ5±0.5mm x 長度12-20mm
標準樣品尺寸：φ5mm x 長度20mm
兩端應進行 SR（球形）處理，以免頂端變得不均勻。
表麵平均粗糙度：平均粗糙度優於0.8a
測量精度：CTE值 5x10-9/K 或更低（基於標準尺寸的低膨脹材料）
重複性：CTE值 5x10-9/K 或更低（基於標準尺寸的低膨脹材料）
分辨率：＜0.2nm
顯示：圖形強度
激光器：激光類型：He-Ne 氣體激光器（連續振蕩）
功率：5mW (IEC 60825-1 class 3B)
光源波長：632.8nm
熱電偶：PT-100 鉑熱電偶 JIS C 1604-1997
測試氣氛：低壓He（100Pa）
升降溫速率：0.01℃/min ~ 1.5℃/min
高精度測試推薦使用0.1℃/min
溫度顯示分辨率：0.001℃
測溫精度：精度符合 JIS-Class A (±0.15°C at 0 °C)