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光學薄膜的真空鍍膜

日期:2024-03-29 21:57
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摘要:

帶Windows軟件自動控製係統
狀態:運行極好
真空腔體尺寸: φ1150mmxH 1500mm 
襯底圓頂尺寸: φ950 (3~30rpm) 
耐加熱係統: φ20mm 4kw 
蒸發源: 2EB Guns (Plasma System) 
G-12100(φ35ccx20)
D-10001 (10kw)  
IAD 係統: 無 
光學厚度監控器: 380~1500nm(波長) (monitor glass φ10x60pcs) 
石英晶體微天平監控器: XTC-2(Inficon) 
真空泵單元: MTR-630(Shincron) DP(HD-550 x 2sets) with Polycold (PFC-670HLL) 
加熱係統: 300℃±10℃(21kw)