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光學薄膜的真空鍍膜
日期:2024-03-29 21:57
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摘要:
帶Windows軟件自動控製係統 狀態:運行極好 真空腔體尺寸: φ1150mmxH 1500mm 襯底圓頂尺寸: φ950 (3~30rpm) 耐加熱係統: φ20mm 4kw 蒸發源: 2EB Guns (Plasma System) G-12100(φ35ccx20) D-10001 (10kw) IAD 係統: 無 光學厚度監控器: 380~1500nm(波長) (monitor glass φ10x60pcs) 石英晶體微天平監控器: XTC-2(Inficon) 真空泵單元: MTR-630(Shincron) DP(HD-550 x 2sets) with Polycold (PFC-670HLL) 加熱係統: 300℃±10℃(21kw)