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掃描光學顯微鏡的特點
日期：2024-04-20 23:20
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摘要：
掃描光學顯微鏡的特點
1．高分辨力能力遠遠超過掃描電子顯微鏡（SEM），以及光學粗糙度儀。樣品表層的三維數據滿足了研究、生產、質量檢驗越來越微觀化
的要求。
1．高分辨力能力遠遠超過掃描電子顯微鏡（SEM），以及光學粗糙度儀。樣品表層的三維數據滿足了研究、生產、質量檢驗越來越微觀化
的要求。
2．非破壞性，探針與樣品表層相互作用力為10－8N以下，遠比以往觸針式粗糙度儀壓力小，因此不會損傷樣品，也不存在掃描電子顯微鏡
的電子束損傷問題。另外掃描電子顯微鏡要求對不導電的樣品進行鍍膜處理，而原子力顯微鏡則不需要。
的電子束損傷問題。另外掃描電子顯微鏡要求對不導電的樣品進行鍍膜處理，而原子力顯微鏡則不需要。
3．應用範圍廣，可用於表層觀察、尺寸測量、表層粗糙測量、顆粒度解析、突起與凹坑的統計處理、成膜條件評價、保護層的尺寸台階測
定、層間絕緣膜的平整度評價、VCD塗層評價、定向薄膜的摩擦處理過程的評價、缺陷分析等。
定、層間絕緣膜的平整度評價、VCD塗層評價、定向薄膜的摩擦處理過程的評價、缺陷分析等。
4．軟件處理功能強，其三維圖象數量其大小、視角、數量色、光澤可以自由設定。並可選用網絡、等高線、線條數量。圖象處理的宏管理，
斷麵的形狀與粗糙度解析，形貌解析等多種功能。
斷麵的形狀與粗糙度解析，形貌解析等多種功能。