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产品详情
简单介绍：
小型快速热退火炉已经成为半导体、铁电体以及镀膜行业的重要退火技术。但是目前，只有大型的、昂贵的生产设备才能完成快速热处理，这大大降低了研发工作的效率（尤其是小的样品）。为了满足市场的需求，ADVANCE RIKO研发出MILA-5000系列的小型快速退火炉。此系列的设备包含红外金面反射炉和高精度的温度控制器。根据需求选配相应的泵和气体接口，MILA能提供与大型RTP设备相同的热处理性能。
详情介绍：
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型号 |
MILA-5000Series |
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温度范围： |
室温~1200℃（max） |
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max加热功率： |
50℃/s（50~1200℃）真空 45℃/s（50~1200℃）氮气氛围 |
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温度均匀性： |
±2.0℃（ΔT=4℃）1200℃真空 ±4.5℃（ΔT=9℃）1200℃氮气氛围 |
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加热气氛: |
大气、真空、惰性气氛环境下 |
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试样尺寸: |
MAX：50 square or φ 50 x T5 (mm) |
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程序模组： |
温度VS时间设定、Step数256、Program数32（*大）； PID+Fuzzy控制、自动微调、USB通讯、自动/手动切换； |
