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小型快速热退火炉

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产品名称: 小型快速热退火炉
产品型号: MILA-5000Series
产品展商: Advance Riko

简单介绍

小型快速热退火炉已经成为半导体、铁电体以及镀膜行业的重要退火技术。但是目前,只有大型的、昂贵的生产设备才能完成快速热处理,这大大降低了研发工作的效率(尤其是小的样品)。为了满足市场的需求,ADVANCE RIKO研发出MILA-5000系列的小型快速退火炉。此系列的设备包含红外金面反射炉和高精度的温度控制器。根据需求选配相应的泵和气体接口,MILA能提供与大型RTP设备相同的热处理性能。


小型快速热退火炉的详细介绍

型号

MILA-5000Series

温度范围:

室温~1200℃(*高)

*大加热功率:

50℃/s(50~1200℃)真空

45℃/s(50~1200℃)氮气氛围

温度均匀性:

±2.0℃(ΔT=4℃)1200℃真空

±4.5℃(ΔT=9℃)1200℃氮气氛围

加热气氛:

大气、真空、惰性气氛环境下

试样尺寸:

MAX:50 square or φ 50 x T5 (mm)

程序模组:

温度VS时间设定、Step数256、Program数32(*大);

PID+Fuzzy控制、自动微调、USB通讯、自动/手动切换;

 

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