光学薄膜的真空镀膜

日期：2024-04-23 23:35

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摘要：

带Windows软件自动控制系统
状态：运行极好
真空腔体尺寸： φ1150mmxH 1500mm 
衬底圆顶尺寸： φ950 （3～30rpm） 
耐加热系统： φ20mm 4kw 
蒸发源： 2EB Guns (Plasma System) 
G-12100（φ35ccx20）
D-10001 (10kw)  
IAD 系统： 无 
光学厚度监控器： 380～1500nm（波长） (monitor glass φ10x60pcs) 
石英晶体微天平监控器： XTC-2(Inficon) 
真空泵单元： MTR-630(Shincron) DP(HD-550 x 2sets) with Polycold (PFC-670HLL) 
加热系统： 300℃±10℃（21kw）