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光学薄膜的真空镀膜

日期:2020-06-06 23:13
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摘要:

带Windows软件自动控制系统
状态:运行极好
真空腔体尺寸: φ1150mmxH 1500mm 
衬底圆顶尺寸: φ950 (3~30rpm) 
耐加热系统: φ20mm 4kw 
蒸发源: 2EB Guns (Plasma System) 
G-12100(φ35ccx20)
D-10001 (10kw)  
IAD 系统: 无 
光学厚度监控器: 380~1500nm(波长) (monitor glass φ10x60pcs) 
石英晶体微天平监控器: XTC-2(Inficon) 
真空泵单元: MTR-630(Shincron) DP(HD-550 x 2sets) with Polycold (PFC-670HLL) 
加热系统: 300℃±10℃(21kw)